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中瑞祥烤膠機(jī) 勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)作原理操作流程

是一種通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)基片并利用離心力使膠液均勻涂覆的設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域。其核心原理是通過(guò)控制轉(zhuǎn)速、膠量和真空吸附來(lái)實(shí)現(xiàn)薄膜均勻性。

核心工作原理

勻膠機(jī)通過(guò)真空吸附固定基片，主軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)承片臺(tái)高速旋轉(zhuǎn)，離心力將滴加的膠液均勻分散在基片表面。膠膜厚度由轉(zhuǎn)速、膠液黏度及旋轉(zhuǎn)時(shí)間共同決定。 ?

操作流程

?預(yù)處理?：安裝電源、氣管，放置收膠鍋，確保真空泵無(wú)油且壓力標(biāo)定準(zhǔn)確。 ?

?滴膠?：在基片靜止或旋轉(zhuǎn)狀態(tài)下滴加膠液，部分設(shè)備支持上下刮邊技術(shù)去除多余膠液。 ?

?旋轉(zhuǎn)涂膠?：

低速旋轉(zhuǎn)（如500-1000 rpm）：初步鋪展膠液。

高速旋轉(zhuǎn)（如2000-5000 rpm）：離心力使膠液均勻分布。 ?

?烘烤?：部分流程需后續(xù)烘烤以固化膠膜。 ?

關(guān)鍵參數(shù)控制

?轉(zhuǎn)速精度?：直接影響膜厚均勻性，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)（如NIST）要求轉(zhuǎn)速誤差≤±1%。 ?

?真空吸附?：無(wú)油真空泵確保基片固定，避免“飛片"或膠液堵塞管道。 ?

注意事項(xiàng)

轉(zhuǎn)速與膠液黏度需匹配，過(guò)高可能導(dǎo)致膠膜過(guò)薄或破裂。 ?

定期維護(hù)真空系統(tǒng)，防止油污污染